A 06E906051K számú Passat üzemanyag közös nyomócsöves nyomásérzékelőre vonatkozik

1. Eljárás nyomásérzékelő kialakítására, amely a következőket tartalmazza:

Félvezető hordozót biztosítunk, ahol egy első rétegközi dielektromos réteg, egy első rétegközi dielektromos réteg és egy második rétegközi dielektromos réteg van kialakítva a félvezető hordozón.

Egy alsó elektródalemez az első rétegközi dielektromos rétegben, egy első kölcsönös elektróda, amely ugyanazon a rétegen található, mint az alsó elektródalemez, és egymástól bizonyos távolságban.

Összekötő rétegek;

Áldozati réteg kialakítása az alsó poláris lemez felett;

Felső elektródalemez kialakítása az első rétegközi dielektromos rétegen, az első összekötő rétegen és az áldozati rétegen;

Az áldozati réteg kialakítása után és a felső lemez kialakítása előtt az első összekötő rétegben

Csatlakozóhorony kialakítása, és a csatlakozóhorony feltöltése a felső lemezzel, hogy elektromosan csatlakozzon az első összekötő réteghez;Vagy,

A felső elektródalemez kialakítása után a felső elektródalemezben és az első összekötő rétegben csatlakozó hornyok képződnek, amelyek

A felső elektródalemezt és az első összekötő réteget összekötő vezetőréteg kialakítása a csatlakozóhoronyban;

A felső lemez és az első összekötő réteg elektromos összekapcsolása után az áldozati réteg eltávolítása egy üreg kialakításához.

2. Az 1. igénypont szerinti eljárás nyomásérzékelő kialakítására, azzal jellemezve, hogy az első rétegben

A rétegközi dielektromos rétegen az áldozati réteg kialakítására szolgáló eljárás a következő lépéseket tartalmazza:

feláldozható anyagréteget viszünk fel az első rétegközi dielektromos rétegre;

Az áldozati anyag réteg mintázása áldozati réteg kialakítására.

3. A 2. igénypont szerinti eljárás nyomásérzékelő kialakítására, azzal jellemezve, hogy fotolitográfiát és gravírozást alkalmazunk.

Az áldozati anyag réteget maratási eljárással mintázzák.

4. A 3. igénypont szerinti eljárás nyomásérzékelő kialakítására, azzal jellemezve, hogy az áldozati réteget

Anyaga amorf szén vagy germánium.

5. A 4. igénypont szerinti eljárás nyomásérzékelő kialakítására, azzal jellemezve, hogy az áldozati réteget

Anyaga amorf szén;

Az áldozati anyag réteg maratása során használt maratógázok közé tartozik az O2, CO, N2 és Ar;

Az áldozati anyag réteg maratása során a paraméterek a következők: az O2 áramlási tartománya 18 SCCM ~ 22 SCCM, a CO áramlási sebessége 10%.

Az áramlási sebesség 90 SCCM és 110 SCCM között, az N2 áramlási sebessége 90 SCCM és 110 SCCM között, az Ar áramlási sebessége pedig.

A tartomány 90 SCCM ~ 110 SCCM, a nyomástartomány 90 mtor ~ 110 mtor, és az előfeszítési teljesítmény

540w-660w.