Alkalmazható a PASSAT üzemanyagra gyakori sínnyomás -érzékelőre 06E906051K

1. A nyomásérzékelő kialakításának módszere, amely magában foglalja:

Félvezető szubsztrátot biztosítva, amelyben az első rétegű dielektromos réteg, az első réteg -dielektromos réteg és egy második réteg -dielektromos réteg képződik a félvezető szubsztráton.

Alsó elektródlemez az első rétegű dielektromos rétegben, az első kölcsönös elektróda, amely ugyanabban a rétegben található, mint az alsó elektródlemez, és el vannak távolítva.

Összekötő rétegek;

Áldozati réteget képez az alsó sarki lemez felett;

Felső elektródlemezt képezve az első réteg -dielektromos rétegen, az első összekapcsolási rétegben és az áldozati rétegben;

Az áldozati réteg kialakítása után és a felső lemez kialakítása előtt az első összekapcsolási rétegben

Csatlakozási horony létrehozása és a csatlakozó horony feltöltése a felső lemezrel, hogy elektromosan csatlakozzon az első összekötő réteghez; Vagy,

A felső elektródlemez kialakítása után az összekötő hornyok képződnek a felső elektródlemezben és az első összekapcsolási rétegben, amely

Vezetőképes réteg képződése, amely a felső elektródlemezt és az első összekapcsolási réteget csatlakoztatja a csatlakozási horonyban;

A felső lemez és az első összekapcsolási réteg elektromos csatlakoztatása után, az áldozati réteget eltávolítva egy üreg kialakításához.

2. A nyomásérzékelő kialakításának módszere az 1. igénypont szerint, ahol az első rétegben az első rétegben

Az áldozati réteg kialakításának módszere az interlayer dielektromos rétegen a következő lépéseket tartalmazza:

Egy áldozati anyagréteg letétbe helyezése az első réteg -dielektromos rétegre;

Az áldozati anyagréteg mintázata az áldozati réteg kialakításához.

3. A nyomásérzékelő kialakításának módszere a 2. igény szerint, ahol fotolitográfiát és gravírozást alkalmaznak.

Az áldozati anyagréteget maratási eljárással mintázzuk.

4. A nyomásérzékelő kialakításának módszere a 3. igény szerint, ahol az áldozati réteg

Az anyag amorf szén vagy germánium.

5. A nyomásérzékelő kialakításának módszere a 4. igénypont szerint, ahol az áldozati réteg

Az anyag amorf szén;

Az áldozati anyagréteg maratása során használt maratási gázok közé tartozik az O2, Co, N2 és AR;

Az áldozati anyagréteg maratásának paraméterei a következők: az O2 áramlási tartománya 18 SCCM ~ 22 SCCM, és a CO áramlási sebessége 10%.

Az áramlási sebesség 90 SCCM és 110 SCCM között, az N2 áramlási sebessége 90 SCCM és 110 SCCM között mozog, és az AR áramlási sebessége.

A tartomány 90 SCCM ~ 110 SCCM, a nyomástartomány 90 mTOR ~ 110 mTOR, és az elfogultsági teljesítmény

540W ～ 660W。