Piezorsister érzékelő szerkezete

Ebben az érzékelőben az ellenállási csíkot integrációs eljárással integrálják a monokristályos szilikon membránba, hogy szilícium piezorsistive chipet készítsenek, és ennek a chipnek a perifériáját rögzítve a héjba csomagolják, és az elektróda vezetékeit kiszedik. A piezorsisteri nyomásérzékelő, más néven szilárdtestnyomás-érzékelő, különbözik a ragasztóeszköz-mérőeszköztől, amelyet a külső erőnek közvetetten kell éreznie az elasztikus érzékeny elemek révén, de közvetlenül a mért nyomást érezi a szilíciummembránon keresztül.

A szilícium membrán egyik oldala egy nagynyomású üreg, amely kommunikál a mért nyomással, a másik oldal pedig egy alacsony nyomású üreg, amely kommunikál a légkörrel. Általában a szilícium membránot rögzített perifériával rendelkező körként tervezték, és az átmérő és a vastagság aránya körülbelül 20 ~ 60. Négy P szennyeződéses ellenállási csíkot helyileg diffundálnak a kör alakú szilíciummembránon, és a teljes hídhoz kapcsolódnak, amelyek közül kettő a dipler zónában van, a másik kettő pedig a dipler zónában van.

Ezen felül vannak négyzet alakú szilícium membrán és szilícium oszlop érzékelő is. A szilícium hengeres érzékelő rezisztens csíkokból is készül, diffúzióval a szilícium henger kristálysíkjának bizonyos irányában, és két szakító feszültségálló csík és két kompressziós stressz -ellenálló csík teljes hídot képez.

A piezorsistive érzékelő egy olyan eszköz, amelyet diffúziós ellenállás készít a félvezető anyag szubsztrátján, a félvezető anyag piezorstisztikus hatása szerint. Szubsztrátja közvetlenül használható mérőérzékelőként, és a diffúziós ellenállás a szubsztrátban híd formájában van összekapcsolva.

Ha a szubsztrátot külső erő deformálja, az ellenállási értékek megváltoznak, és a híd a megfelelő kiegyensúlyozatlan kimenetet eredményezi. A piezorstisztikus érzékelőkként használt szubsztrátok (vagy membránok) elsősorban szilícium ostyák és germánium ostyák. A szilikon piezorsister érzékelők szilícium ostyákból készültek, mivel az érzékeny anyagok egyre nagyobb figyelmet fordítottak, különösen a legszélesebb körben alkalmazott szilárdtest piezoresistive érzékelők a nyomás és a sebesség mérésére.